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高周波電源オート・マッチングボックス他
半導体製造装置、液晶製造装置用のプラズマ発生用のオールソリッドステート化された高周波電源です。
発振器は水晶発振方式で、小型化高信頼性を図った構造となっています。
主な仕様
| 形式 | HFS-04-010W | HFS-04-030W | HFS-08-020W | HFS-08-050W | HFS-02-010W | HFS-02-030W | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 発振周波数 | 400kHz±0.05% | 800kHz±0.05% | 2MHz±0.05% | ||||
| 最大定格出力 | 1kW | 3kW | 2kW | 5kW | 1kW | 3kW | |
| 出力インピーダンス | 50Ω | ||||||
| 出力コネクター | N型 | HN型 | HN型 | HN型 | |||
| 出力ケーブル | 8D-2V | RG-14A/U | RG-14A／U | RG-14A／U | |||
| 出力電力安定度 | 電源電圧変動が±10%の時、最大出力の±1%以内(但し、周囲温度25℃、ダミーロード使用時 | ||||||
| 耐反射電力 | 200W | 500W | 400W | 700W | 200W | 500W | |
| 高調波歪 | -40dB以下（最大出力時） | ||||||
| 出力リップル | 1%以下（最大出力時） | ||||||
| 所要電力 AC200V 50/60Hz | 3φ／3kVA | 3φ／6.5kVA | 3φ／5kVA | 3φ／10kVA | 3φ／3kVA | 3φ／3kVA 3φ／7kVA | |
| 冷却方式 | 水冷 | ||||||
| 所要冷却水量 | 4L／min以上 | 5L／min以上 | 5L／min以上 | 8L／min以上 | 4L／min以上 | 5L／min以上 | |
| 冷却水 温度／ 圧力／ 水質 | 10～30℃、0.5MPa以下、3～5kΩ-cm | ||||||
| 周囲環境温度／湿度 | 10～30℃、30～80% 但し結露しないこと | ||||||
| 電源保護機能 | サーキットプロテクタ、過電圧・渦電流リミッター、反射リミッター | ||||||
| 操作方式 （操作部別パネル） | ローカル及びリモート操作 | ||||||
| 電源本体寸 法 （mm） | 幅 | 480 | |||||
| 奥行 | 450 | 650 | 600 | 650 | 450 | 800 | |
| 高さ | 200 | 350 | 250 | 500 | 200 | 400 | |
| 電源本体質量 | 約30kg | 約80kg | 約55kg | 約100kg | 約25kg | 約70kg | |
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