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高周波電源オート・マッチングボックス他
自動整合器は、半導体、液晶、太陽電池等を製造するためのプラズマ装置とその高周波電源との間に接続し、負荷変動によりインピーダンスが変動しないように自動整合する装置で、プラズマ装置を安定、かつ効率的に運転するためには不可欠のものです。
本自動整合器は13.56MHz専用で、300Wから5kW までの出力に対応できる機種を取り揃えております。
主な仕様
| 形式 | MBA-003 | MBA-005 | MBA-010 | MBA-020 | MBA-030 | MBA-050 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 使用周波数 | 13.56MHz | ||||||
| 最大許容出力 | 300W | 500W | 1kW | 2kW | 3kW | 5kW | |
| 入力インピーダンス | 50Ω | ||||||
| 整合範囲 | 5Ω～35Ω／－ j180Ω～－j 10Ω | ||||||
| 整合方法 | 自動及ぶ電動リモート | ||||||
| 入力コネクタ | N 型 | HN 型 | LC型 | ||||
| 冷却方式 | 自然空冷 | 強制空冷及び水冷 | |||||
| 所要冷却水 | 流量 | － | 2L／min以上 | 3L／min以上 | |||
| 圧力 | 0.5MPa以下 | ||||||
| 水温 | 10 ～ 30℃ | ||||||
| 水質 | 3 ～ 5kΩ-cm | ||||||
| 冷却水冷系接栓 | PC-3／8PT （コイル用） | 1系統RC-3／8PT（コイル、バリコン用） | |||||
| 可変素子 | （MATCH） | エアーバリコン | 真空バリコン | ||||
| （TUNE） | エアーバリコン | 真空バリコン | |||||
| 外形寸法 | 幅 | 約300mm | |||||
| 奥行 | 約400mm | ||||||
| 高さ | 約200mm | ||||||
| 質量 | 約13kg | 約18kg | 約20kg | ||||
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