製品一覧・カタログ
高周波電源オート・マッチングボックス他
オールソリッドステート化された高周波電源です。
発振器は水晶発振方式で、小型化高信頼性を図った構造となっています。
主な仕様
| 形式 | HFS-060-003A | HFS-060-010W | HFS-060-020W | HFS-060- 030W-3 | HFS-060-050W | HFS-060-100W | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 発振周波数 | 60MHz ±0.05% | ||||||
| 最大定格出力 | 250W | 1kW | 2kW | 3kW | 5kW | 10kW | |
| 出力インピーダンス | 50Ω | ||||||
| 出力コネクタ | N型 | HN型 | LS型 | 7／16DIN | 39D | ||
| 出力電力安定度 | 電源電圧の±10%変動に対して最大パワーの±1%以内（但し周囲温度25℃、ダミーロード使用時） | ||||||
| 耐反射電力 | 50W | 200W | 400W | 600W | 800W | 800W | |
| 高調波歪 | 基本波に対して-40dB以下 | ||||||
| 出力リップル | 1%以下 | ||||||
| 所要電力 A C 2 0 0 V 5 0／6 0 H z | 1φ, 750VA | 3φ, 3kVA | 3φ, 4.5kVA | 3φ,7kVA | 3φ, 11kVA | 3φ, 23kVA | |
| 冷却方式 | 強制空冷 | 強制空冷及び水冷 | |||||
| 所要冷却水量 | － | 4L／min以上 | 5L／min以上 | 6L／min以上 | 7L／min以上 | 20L／min以上 | |
| 冷却水温度／圧力／水質 | － | 10～30℃、0.5MPa以下、3～5kΩ-cm | |||||
| 周囲環境温度／湿度 | 10～30℃、30～80% ただし結露なきこと | ||||||
| 電源保護機能 | サーキットプロテクタ、過電圧・過電流リミッタ、反射（Pr）リミッタ、温度検出 | ||||||
| 電源本体寸法 | 幅 | 480mm | 550mm | ||||
| 奥行 | 400mm | 550mm | 550mm | 650mm | 900mm | ||
| 高さ | 150mm | 250mm | 350mm | 400mm | 1000mm | ||
| 質量（電源本体のみ） | 約20kg | 約45kg | 約50kg | 約90kg | 約105kg | 約230kg | |
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