製品一覧・カタログ
高周波電源オート・マッチングボックス他
オールソリッドステート化された高周波電源です。
発振器は水晶発振方式で、小型化高信頼性を図った構造となっています。
主な仕様
| 形式 | HFS-100-002 | HFS-100-005 | HFS-100-010 | HFS-100-020 | HFS-100-030 | HFS-100-050 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 発振周波数 | 100MHz ±0.05% | ||||||
| 最大定格出力 | 200W | 500W | 1kW | 2kW | 3kW | 5kW | |
| 出力インピーダンス | 50Ω | ||||||
| 出力コネクタ | N型 | HN型 | LC型 | LC型同軸管 | |||
| 出力ケーブル | 8D-2V | RD-14A／U | RD-17A／U | WX-39D | |||
| 出力電力安定度 | 電源電圧の±10%変動の時、最大出力の±1%以内（但し周囲温度25℃、ダミーロード使用時） | ||||||
| 耐反射電力 | 40W | 100W | 200W | 400W | 500W | 700W | |
| 高調波歪 | -40dB以下（最大出力時） | ||||||
| 出力リップル | 1%以下（最大出力時） | ||||||
| 所要電力 AC200V 50／60Hz | 1φ／1.1kVA | 1φ／1.5kVA | 3φ／3kVA | 3φ／5kVA | 3φ／7kVA | 3φ／11kVA | |
| 冷却方式 | 空冷 | 水冷 | |||||
| 所要冷却水量 | － | 3L／min以上 | 5L／min以上 | 6L／min以上 | 7L／min以上 | ||
| 冷却水 温度／ 圧力／水質 | － | 10～30℃、0.5MPa以下、3～5kΩ-ｃｍ | |||||
| 周囲環境温度／湿度 | 10～30℃／30～80% 但し結露なきこと | ||||||
| 電源保護機能 | サーキットプロテクタ、過電圧・過電流リミッタ、反射（Pr）リミッタ、温度検出 | ||||||
| 操作方式 | ローカル及びリモート操作 | ||||||
| 電源本体寸法 | 幅 | 480mm | |||||
| 奥行 | 450mm | 450mm | 550mm | 530mm | 650mm | 650mm | |
| 高さ | 200mm | 200mm | 250mm | 350mm | 400mm | 600mm | |
| 電源本体質量 | 約14ｋｇ | 約25kg | 約38kg | 約50kg | 約80kg | 約140kg | |
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