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マイクロ波電源・自動整合器他
本装置はマイクロ波プラズマCVD、マイクロ波ECRプラズマ等、半導体製造に不可欠なマイクロ波電源です。
300Wから10kWまで、高安定、低リップルの電源を取り揃えています。
主な仕様
| 型式 | MKN-032 | MKN-152-3S9 | MKN-202-3S8 | MKN-302-3S | MKN-502-3S | |
| 周波数 | 2450MHz ±30MHz | |||||
| 定格出力 | 120W～300W | 150W～1.5kW | 200W～2kW | 500W～3kW | 500W～5kW | |
| 出力フランジ | BRJ-3相当 | BRJ-2相当 | ||||
| 出力安定度 | 電源電圧±10%の変動に対して、最大出力の±1%以下 | |||||
| 出力リップル | 最大出力値の5%p-p以下 | |||||
| 所要電力 | 1φ AC200V | 3φ AC200V | ||||
| 1.3kVA | 3.1kVA | 5kVA | 7kVA | 11kVA | ||
| 指示計 | 進行波電力・反射波電力・陽極電力 | |||||
| 冷却方式 | 電源部 | 強制空冷 | ||||
| 発振部 | 強制空冷 | 水冷 | ||||
| 外形寸法 WxDxH（mm） | 電源 | 一体型 450x500x249 | 480x500x199 | 480x550x199 | 480x500x299 | 480x600x409 |
| 発振部 | 300x310x280 | 340x270x270 | 370x270x270 | |||
| 質量（kg） | 電源部 | 一体型 40 | 25 | 25 | 40 | 68 |
| 発振部 | 30 | 20 | 25 | 25 | ||
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