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マイクロ波電源・自動整合器他
本装置は、マイクロ波伝送線路の発振装置と負荷の部分に挿入し、プラズマ等の負荷インピーダンスをリアルタイムに監視するモニタ装置です。インピーダンスの表示形式として反射係数Γ、VSWR及び位相θを測定し、パーソナルコンピュータにチャート表示させることができます。
特徴
- ●実負荷時のインピーダンスがリアルタイムに測定できます。
- ●測定値をチャート上にプロットするので問題発生時の解析が容易にできます。
- ●負荷への入射電力を測定できます。
- ●サンプリングしたインピーダンス値をPC上にCSVファイル形式で保存できます。
構成
接続例
主な仕様
| 項目 | 仕様 | 備考 | |
|---|---|---|---|
| 周波数範囲 | 2450±10MHz | ||
| 定格電力 | 5kW（CW） | ||
| 導波管 | 2GHz偏平導波管（96X27mm） | ||
| フランジ | TBR-2A2相当 | ||
| 測定範囲 | 負荷VSWR1.1－10（全位相） | ||
| 測定表示項目 | 反射係数Γ、VSWR、位相θ、又は正規インピーダンスR[Ω],Jｘ[Ω] | ||
| 測定データサンプリング間隔 | 0.1－60sec. | ||
| データ保存形式 | CSVファイル形式 | ||
| 表示方法 | スミスチャート、ガンマPhaseチャート | ||
| 測定誤差 | 反射係数 | ±0.05 TYP | |
| 位相 | ±3°TYP （VSWR1.1以上に於いて） | ||
| 対応OS | Windows 2000,XP | ||
| 制御I／F | シリアルインターフェース（RS-232C Dsub 9pinコネクタ） | USB2／RS-232C変換器使用可 | |
| 電源 | 入力AC100V 50／60Hz 出力 DC5V , 2A | ACアダプタ使用 | |
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