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マイクロ波電源・自動整合器他
本装置は、2450MHzマイクロ波を受けて、反応管内で化学的に活性なプラズマを発生させる装置です。
主な仕様
| 形式 | MC-03Ⅱ | MC-03Ⅲ |
|---|---|---|
| 周波数 | 2450MHz±30MHz | |
| 定格通過電力 | 300W(CW) | |
| 入力接栓 | N(S)-J | |
| プラズマ最大径 | プラズマ有効径で反応管の内径寸法 | |
| 反応管寸法 | 最大外径 φ12 | 最大外径 φ26 |
| 使用圧力 | 1.3kPa～1.3Pa 以内 | |
| 冷却方式 | 自然空冷または水冷 | |
| 冷却水：1 L/min 以上 | ||
| 水圧：0.2MPa～0.3MPa | ||
| 水温：10 ～ 30℃以内 | ||
| 外形寸法 | W:約120×D:約52×H:約90(mm） | W:約245×D:約50×H:約104(mm) |
| 質量 | 約600g | 約950g |
※キャビティに100W以上入力する場合には、必ず水冷を行って下さい。
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