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マイクロ波電源・自動整合器他
パルス変調されたマイクロ波プラズマが、半導体ウェーハの微細加工に有望視されております。当社はこの要望に応え今回、高速パルス変調マイクロ波電源を開発いたしました。
特徴
- ●繰り返し周波数は、低周波数から高周波数まで広帯域に対応。
- ●デューティは、10％～90％まで可変。
- ●オーバーシュートのない高速の立上がり、下がり。
- ●当社、PWM型スイッチング電源を使用し、パルス変調部と組み合わせることにより、 平均出力電力5kWまで対応可能。
主な仕様
| 周 波 数 | 2450MHz |
|---|---|
| 繰り返し周波数 | 1kHz～100kHz |
| デューティー | 10～90% |
| (ただし100kHzは85%まで) | |
| 立上がり時間 | 1μs以下 |
| 立下がり時間 | 1μs以下 |
| 平均出力電力 | 200W～2kW |
| パルス出力電力 | 400WP～2kWP |
※2kWパルス変調マイクロ波電源(形式 MKN-206-3S) の場合
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