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高出力（最大5kW）のマイクロ波電源および自動整合器（4Eチューナ）により、安定な高密度プラズマを発生させ、高品質ダイヤモンドを高速合成できます。
特徴
弊社独自のプラズマ制御機能により、プラズマ点灯状態で基板上のプラズマ分布を制御できます。
主な仕様
◆ マイクロ波電源はマグネトロン発振（ 連続波、パルス波、高安定スペクトル）
およびソリッドステート発振など、弊社電源ラインナップからお選び頂けます。
◆ 現在お使いの装置の電源アップグレード、その他の改良、
また、試験成膜、受託成膜についてもお気軽にお問合せ下さい。
| 主な仕様および機能 | |
|---|---|
| MW電源 | 2450MHz, 最大出力5kW (日本高周波製) |
| 整合方法 | 4Eチューナによる自動整合 (日本高周波製) |
| 圧力制御 | 自動圧力制御 |
| 反応ガス | メタン, 水素, 酸素 (増設可能) |
| 形状 | 1500mm (W) × 900mm (D) × 2000mm (H) |
| 成膜範囲 | 直径2インチ |
| 成膜速度 | 20μm/h 工具グレード, 4μm/h 光学グレード |
※記載内容は、改良その他により予告無く変更する場合がありますので、予めご了承ください。
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