マイクロ波スマートパワーシステム　MSPS

弊社ではマグネトロンを極めて高い安定度で発振させることを可能とした2450MHz帯高出力マイクロ波電源 「マイクロ波スマートパワーシステム MSPS」を開発いたしました。

2.45GHｚマイクロ波電源はマイクロ波プラズマCVD、マイクロ波ECRプラズマ等、半導体製造装置用電源として不可欠な存在です。　マグネトロンを用いたマイクロ波電源はクライストロンやソリッドステート方式に比較してはるかに安価に高出力電源を構成することが出来ますが、出力や負荷変動により発振周波数が大きく変動する欠点がありました。
本システムは、このようなマグネトロンの欠点を解決した画期的なマイクロ波電源で、弊社独自の方式により基準周波数発振器からの周波数に完全同期してマグネトロンを発振させることが可能となったため、発振周波数が極めて安定しています。

特徴

• ●出力を可変しても発振周波数は変動しません。
• ●発振安定度は基準信号発振器の発振精度に依存します。
• ●並列運転により出力合成が可能です。
• ●整合精度が極めて向上します。
• ●周波数は2445MHz～2460MHzの任意ポイントに製造可能です。

発振波形スペクトラム比較

システム構成